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蒸镀机的喷嘴系统的制作方法

  蒸发镀膜是通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面的一种真空镀膜。蒸发材料如金属、化合物等置于坩祸内或挂在热丝上作为蒸发源。待镀工件,如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩祸前方。待坩祸抽至高真空后,加热坩祸使其中的蒸发材料进而从喷嘴喷出。蒸发材料的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。

  由于喷嘴11设置的倾斜角度不合理时,导致喷嘴11内蒸发材料分布不均匀,容易导致喷嘴11堵塞。当碰嘴11堵塞时,需要先降低坩祸12的温度以免操作人员。接着,需要破除坩祸12内的真空,否则由于坩祸12内外气压差,不易除去喷嘴11内的堵塞。破除真空时,有大量保持真空的氮气逸出,因此,需要等待氮气完全逸出后,才能采取去除堵塞的动作,否则容易导致操作人员窒息。去除堵塞后,需要抽取坩祸12内空气,保持坩祸12内真空环境,然后,加热使得坩祸12升温以便蒸发材料蒸发从而开始工作。从坩祸12降温、破除真空、去除堵塞、抽真空、坩祸12升温完成整个堵塞去除的时间较长。